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| 电子工业超纯水制造系统适用范围：电子工业、VLSI和ULSI、彩色显像管、TFT LCD、印制电路板生产过程 纯水在电子工业中主要用作电路清洗水，VLSI和ULSI对水质的要求成为当代超纯水水质的极值，可以说没有超纯水就没有现代电子工业。采用电渗析法、反渗透法和离子交换及连续电除盐法等去除水中各种阴、阳离子，采用超过滤法、膜过滤法等技术去除水中颗粒物，采用紫外灭菌法、臭氧灭菌法、脱气法、惰性气体保护法、活性炭吸附法来去除水中细菌和TOC。 |