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SEA5100/5200 系列XRF元素监测仪能在50微米平面上做不同元素的定性及定量分析。配备CCD显微镜及XYZ自动样品台能鉴定出分析的小点及制成测量的元素含量分布图。还配备有外来物质的测试及镀层厚度测量功能。