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半导体器件性能表征系统
型号：进口
该半导体器件性能表征系统是一个可以提供精密电流源、电压源和测试功能的测试系统，为半导体器件和测试结构的直流参数测试、实时绘图与分析提供了一套完整的方案，具有高精度和亚fA 级的分辨率，可广泛应用于各类新材料、薄膜材料、异质结构等光电子材料及器件的电学性质和物理特性的研究。
特点
■直观的、点击式Windows 操作环境；
■独特的远端前置放大器，将SMU的分辨率扩展至0.1fA；
■内置PC提供快速的测试设置、强大的数据分析、制图与打印、以及测试结果的大容量存储；
■独特的浏览器风格的软件界面，根据器件的类型来安排测试；
■支持多种外围设备；
■用户测试模块功能，可用于外接仪表控制与测试平台集成，是KITE功能的扩充。
技术参数
■电压测量范围：1μV-200V，电压测量zui小分辨率为1μV；
■电流测量范围：100fA-100mA，电流测量zui小量程为100nA；
■在zui小量程上的电流测量zui小分辨率为100fA，精度30pA。
应用
■ 片上参数测试；
■ 晶圆级可靠性；
■ 封装器件的特性分析；
■ 使用Model4200-SCS控制外部LCR表进行C-V、I-V特性分析；
■ 高K栅电荷俘获；
■ 受自加热效应影响的器件和材料的等温测试；
■ 电荷泵方法分析MOSFET器件的界面态密度；
■ 电阻式或电容式MEMS驱动特性分析 ；
■ 半导体激光二极管DC/CW特性分析；
■ 收发模块DC/CW特性分析；
■ PIN和APD特性分析 。