品牌:羲和
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扩展电阻测试仪
型号：进口
扩展电阻法是利用特殊的点接触金属探针，沿着样品的表面 ，以微小的步进测出半导体材料或器件表面的每一点的扩展电阻值，由此得到电阻、电阻率和载流子浓度（掺杂杂质浓度）及其分布的一种测量技术。
本仪器适用于检测P型和N型硅单晶微电阻率均匀性，检测扩散层的微区电阻率变化也可用于硼磷扩散工艺的监控，同时该仪器还可以测量锑化铟、砷化镓浓度的相对变化量 。
应用实例
■ 硅晶体电阻率微观均匀性的测量
■ 硅晶体中氧浓度及其分布的测量
■ 硅晶体离子注入层的测量
■ 硅外延层厚度和载流子浓度的测试
■ 硅pn结和器件结构的测试
■ 硅晶体中杂质扩散特性的测试
■ 硅晶体离子注入层的测量