价格:未填
品牌:羲和
发货:3天内

发送询价

蓝宝石非接触测厚仪
非接触厚度测试系统。不受样本是否导电影响，适用于所有可让红外线通过的材料：蓝宝石、碳化硅，可以在衬底有胶膜、夹具及在上爉固定后的情况下测量。

■ 手动，半自动以及全自动解决方案。
■ 系统的Mapping功能可测量整片衬底
√衬底厚度 √厚度变化 (TTV)
√ 粗糙度 √ 翘曲度(Warp/ Bow)
√ Bow √ TSV
√ 通孔深度 √ 侧壁角度