品牌:Aera
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Aera FC-D980 系列数码 MFC（质量流量控制器）和 MFM（质量流量计）具有卓越的性能和通用性，从而大幅节约了成本且易于使用。多种输出选择允许进行模拟或数码控制，可用于目前大多数控制和通信配置。为适应您优先选择的价值和功能，该产品线拥有单气体和多气体、多范围的 MFC。多气体、多范围可以通过显著减少备件库存要求降低成本。RS-485 通信（带有转换器的 RS-232）与全面的诊断和警报功能相结合，达到了全面的监控和控制性能，操作参数就在您的弹指之间。
性能:
出色的精确性、可重复性和稳定性
大幅节约了成本
zui大限度的运行通用性
无与伦比的可靠性
特点:
多气体、多范围选择
模拟、模拟/数码以及数码模式
压电控制阀
多警报和诊断功能
金属密封，泄漏率为1x10-10
电解抛光且超洁净气体湿润表面
ALTA®系列金属密封数字质量流量控制器
- ALTA® 1480A/180A数字质量流量控制器/质量流量监视器，满量程范围从10 sccm– 30 slm。
- ALTA® MC20A数字质量流量控制器，满量程范围从20 – 300 slm。
- MASS-FLO®系列金属密封质量流量控制器
- 1479A/179A质量流量控制器/质量流量监视器，其满量程范围从10 sccm – 20 slm，各种模拟和数字通讯口可选。
- M330B低压质量流量控制器，其满量程范围从5–100 sccm
- M330H高温型(150℃）质量流量控制器，其满量程范围从10sccm – 40 slm
MASS-FLOW®系列橡胶密封质量流量控制器
- 1179A/2179A质量流量控制器/带截至阀质量流量控制器，其满量程范围从10 sccm – 20 slm，模拟和数字通讯口可选。
- M100B/M10MB质量流量控制器/质量流量监视器，其满量程范围从10 sccm–50 slm
- 1559A/558A大流量质量流量控制器/质量流量监视器，其满量程范围从20– 200 slm
- 1579A/579A大流量质量流量控制器/质量流量监视器，其满量程范围从50 – 300 slm
全线代理美国美国MKS的系列产品:
等离子体电源及反应气体发生器Power & Reactive Gas
真空技术Vacuum Technology
流量测量及控制Flow Measurement & Control
压力测量及控制Pressure Measurement & Control
气体分析Gas Analysis
控制信息与技术Control Information & Technology
超小型检漏仪Leak Detector
校准系统Calibration
电离化与工业静电控制Ionization & Industrial Static Control
集成子系统Integrated Subsystems
医用电子系统Medical Electronics
生物医药应用Biopharmaceutical
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