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整体一体化新外观设计
● X、Y、Z三轴伺服控制、定位精度高，运行平稳
● X、Y向导轨采用花岗石，性能稳定，不易变形
● 操纵秆/鼠标操作、方便易用
● 程控恒流驱动式四环四驱冷光表面光源，可适应复离的工件测量
● 激光指示器指示测量位置，方便快速定位
● Y向传动为定位导向，运行更平稳，精度更高
● 行程大，测量范围更广
技术规格参数
机台结构
型号 VMS-0810H VMS-1012H VMS-1215H
X/Y轴行程(mm) 800*1000 1000*1200 1200*1500
玻璃台尺寸(mm) 885*1158 1085*1358 1285*1858
外形尺寸(m) 2.17*2.38*1.56 2.37*2.58*1.56 2.57*2.88*1.56
整台重量(kg) 3260 3750 4520
Z轴运动行程 200mm
X/Y轴zui大速度 300mm/s
光学系统
变倍镜头 进口 倍率 0.7X～4.5X
光源 表面光源-LED表面环形光源 底光源-LED直线光源
光学尺分辨力 0.5μm
X/Y示值误差 (4+L/200)μm
摄像机 彩色1/2"CCD摄像机
激光平面度测量 重复性3μm(选配激光位移器时)
物方视场 11.1mm～1.7mm