全计算机控制的多功能离子减薄系统,有高度的灵活性

• 减薄角度可调由0度至90度
• 一体化设计,重复性实验设备,可靠具操作性
• 全电脑控制,精确的参数调整,运行中无需人干涉
• 鞍式离子枪,高能量-快速蚀刻
• 制冷系统,铜传导,确保TEM,SEM在低温下操作
• 主机内置2级泵,确保高真空
• 减少装卸时间,高效率
• 操作简便直观,带自保护防止离子溢出与过热功能
• 法拉力环检查样品是否穿孔,自动终止功能
• 装载闸保持系统高真空度稳定不变
• 减薄过程中离子能量高低可调
• 内置视频监视器,直接观察样品减薄情况
• 可编程,触摸屏设计,直观操作