基于德国LEICA卓越的HCS光学系统，以及LEITZ干涉镜头，LEICA 干涉显微镜提供迈克尔逊干涉和MIRAU干涉两种干涉功能，放大倍率从50-500倍，测量范围10nm到30微米之间，配合LEICA的数字摄像头和LAS自动测量软件，可快速将干涉条纹转换为台阶及高度，深度参数。可满足高分子材料，半导体材料，薄膜，MEMS、金属研究、材料科学、半导体、医用器械等众多领域科研和生产工作中对高精度表面测量的需要。