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应用范围
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光电轮廓仪的应用范围很广,它主要用于测量各种加工零件表面的微观三维结构,如表面粗糙度;零件表面的刻线;刻槽的深度和镀层的厚度等。具体地说,如量块、光学零件表面的粗糙度;标尺、度盘的刻线深度;光栅的槽形结构;镀层厚度和镀层边界处的结构形貌;磁(光)盘、磁头表面结构测量;硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。由于仪器测量精度高,重复性好,具有非接触和三维测量等特点,并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果,本仪器适用于各级测试、计量研究单位,工矿企业计量室,加工车间和高等院校及科学研究单位等。
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