1、工作台
X坐标行程：200mm
Y坐标行程：100mm
X、Y坐标分辨率：0.0002mm
2、测量准确度：(1+L/100)μm，其中  L为测量长度，单位：mm
平工作台尺寸(mm)：260×270
圆工作台直径：ф213mm
圆工作台角度分划范围：0°~ 360°
圆工作台角度分度值：30"
3、物镜