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Y80-2/RZQ加压检漏台产品简介：
本设备适用于对其有内腔的微电子器件和半导体器件的气密性进行粗检漏，可利用氟碳化合物进行一步粗检漏及二步粗检漏，也可与氦质谱检漏仪相配合，利用氦气进行检漏。
产品特点：
一步氟碳化合物粗检漏，可检漏气速率≥10-3大气压厘米3/秒
二步氟碳化合物粗检漏，可检漏气速率≥10-5大气压厘米3/秒
主要技术指标：
加压缸内径Φ145mm，深225mm，加压缸充气系统额定气压2—7kg/c㎡
检漏精度：氟碳化合物粗检漏，可检漏气速度≥2*10-2pa·cm3·s