产品型号：

产品简介：

供气(混气)系统 (质量流量计) 可用于多种气体单一/混合连续供气系统，尤其方便多种气体的切换混合使用；气体压力和流量数据在同一平面直观可读，操作方便；每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全可靠！

  本系统广泛用于CVD供气系统，气体保护烧结，气体保护退火等。

主要特点：

1．本配比器适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其是方便三种气体切换使用，而不会造成大气进入加热炉管。

2．气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。

3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。

4．显示流量准确，可有效地控制气体消耗量。

5．所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。

技术参数：

气路通道：  2 (可根据客户需求设计1-8通道)

气路流量控制：

采用浮子流量计：

量  程(ml/min) ：6～60，10～100，16～160

精  度(空气)  ：1 ml/格(6～60 ml/min)

                  2 ml/格(10～100，16～160 ml/min)

工作压差范围 ：0.1～0.5 MPa

  大  压  力 ：3 MPa

接          口：  Φ6,1/4”

显          示：  刻度

工作环境温度:5~45℃ 

高纯气体不锈钢管：Φ6外X Φ4内

压 力 真 空 表  ：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截    止    阀  ：Φ6