保证分辨率

3.0nm（30kV）
8.0nm（3kV）
15nm（1kV）

放大倍数

5至300,000

加速电压

0.3kV至30kV

电子枪

工厂预对中灯丝

聚光镜

变焦聚光镜

物镜

锥形物镜

样品台

全对中样品台

X-Y

125mm-100mm

Z

5mm至80mm

旋转

360°

倾斜

－10°至＋90°

排气系统
（高真空模式）

DPx1，RPx1

排气系统
（低真空模式）

DPx1，RPx2

JSM-6610A/JSM-6610LA分析型扫描电子显微镜，与日本电子公司的元素分析仪（EDS）组合于一体。结构紧凑的EDS由显微镜主体系统的电脑控制，操作员只用一只鼠标，就可完成从图像观测到元素分析的整个过程。

大样品室和马达驱动样品台

样品室对应样品的直径可达到200mm,5轴马达驱动确保了高效率的样品移动和观察。

操作窗口

直观的操作界面的设计，简明易懂便于迅速掌握操作。

支持多用户

单个用户可以根据常用功能设置相应的图标，营造高效率的操作环境。用户登录时，即可加载已注册过的设定。

同时显示两幅图像

画面上并列显示二次电子成像和背散射电子成像这两种实时图像。可同时观察样品的形貌和组成分布。

微细结构测量

适合于多种测量功能。可在观察图像上直接进行测量。也可将测量结果贴至SEM图像，保存在文件中。

标准的全对中样品台，能收录三维照片

3D Sight（选配件），能够进行平面测量和高度测量，实现立体俯视图。

从图像观察到元素分析，配合连贯一条龙

分析型扫描电子显微镜配备两台监视器，一台用于SEM图像观察和另一台用于元素分析（EDS）。一只通用鼠标即可同时控制两台监视器。大尺寸画面使操作更加简便与舒适。

维护简便

工厂预置中心灯丝，十分便于更换。因此，可长期保持稳定的高性能。此外，操作界面还能以映像形式显示灯丝维护的步骤说明。

可信赖的真空系统

真空系统使用高性能的扩散泵保证了洁净的高真空状态。扩散泵内部无活动部件，体现了操作稳定，维护简便的特色。

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