3000×1500×800。高导磁不锈钢板；台面平面度：≤0.05mm/m2；台面光洁度：0.8μm；振幅：≤1um； M6螺孔阵距25×25；系统固有频率：≤5 Hz；平台承重： 300kg/m2；隔振效率：≥95%。