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空间光调制器（Spatial light modulator）的特点：此款空间光调制器SLM（Spatial light modulator）可应用于任何需要对光束进行连续调制的场合。其应用之一是用于高端光刻掩膜板。
Data of one-megapixel SLM （1M像素空间光调制器SLM指标如下）：
Parameter Value Remark
Matrix size 2048 × 512 mirrors
Pixel size 16 × 16 μm²
Frame rate 2 kHz
Mirror edge deflection 0 - 180 nm up to 350 nm possible
Wavelength 248 nm up to ca. 1500 nm possible
Average beam power 40 mW elevated power possible; wavelength dependent
Data voltage 0 - 25.5 V analogue
Data inputs 256

此款空间光调制器SLM采用微光机电系统构成，详细的说明欢迎来电咨询！

联系：,52494037.