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洁净的真空
腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。
能在高吸入压强下运转
选用比标准电机容量大一级的电机，即可实现在高吸入压强下的运转。

系统参数:
VPM-010，极限真空度8×10^-2Pa，排气速度10m³/h
VPM-030，极限真空度8×10^-2Pa，排气速度30m³/h
VPM-050，极限真空度8×10^-2Pa，排气速度50m³/h

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