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Tru-Flo® 质量流量检测器是一个紧凑型的诊断仪器。它在已知的腔体体积和温度的条件下， 测量上升的压力来确定流量。 

•    DELTA® II流量比例控制器随着 DELTA 流量比例控制器的使用， 优化工艺结果将变得容易。它可将混合的工艺气体按比例分为两路以提高均匀性等工艺参数。比例可从1:1至1:20。