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该技术的主要特征为：利用低能X光激发待测元素，对Si、S、Al、Na、Mg等轻元素有良好的激发效果，并且测试时间短，大大提高了检测效率和工作效率：采用UHRD探测器，具有良好的能量线性和能量分辨率，及良好的能谱特性，较高的峰背比；采用自动稳谱装置，保证了仪器工作的一致性：利用解谱技术使谱峰分解，使采用UHRD探测器的分析仪对Si、S、AI等轻元素的测试具有好的分析精度；采用多参数的线性回归方法，使元素间的吸收、排斥效应得到明显的降低。