ZLS-26D/T型分子泵氦质谱检漏仪

主要技术参数：                                                  
仪器的启动时间：  不大于5min

zui小可检漏率：优于5×10-12Pa.m3/s
反应时间：  不大3s
质谱室允许工作的zui高压强：1×10-2Pa
测试口允许工作的zui高压强：1000Pa
仪器的轮廓尺寸：  640*550*980 mm3
仪器的重量：      约75Kg