H2O2等离子体能够在常温条件下实现快速、干燥灭菌的目的，是多种灭菌条件综合作用的结果：

1. 活性基因的作用：等离子体中含有的大量活性氧离子、高能自由团等成分，易与细菌、霉菌、芽孢和病毒中蛋白质和核酸物质发生氧化反应而变性，从而使各列微生物死亡。

2. 高速粒子击穿作用：在灭菌实验后通过电镜观察，经等离子体作用后的细菌菌体与病毒颗粒图像，均呈现千疮百孔状，这是由具有高动能的电子和离子产生的蚀刻和击穿效应所致。

3. 紫外线的作用：在激发H2O2形成等离子体的过程中，伴随着部分紫外线产生，这中高能紫外光子（3.3-3.6EV）被微生物或病毒中蛋白质所吸收，致使其分子变性失活。

灭菌范围

金属材料

不锈钢、铝、铜、钛等大多数金属。

非金属材料

玻璃、聚乙烯、乳胶、聚碳酸脂、聚乙炳、硅胶、特富龙、氯丙烯、聚苯乙烯、聚氯乙烯等。

器械类

软、硬式内窥镜，内窥镜设备，激光机头，食道扩张器，冷疗探子，动力设备和电池，剃刀机头，超声波探头，光学纤维及起搏线导线，纤维光缆，电子设备和导线，金属器械，玻璃器皿。

不适合灭菌器灭菌的有

内径小于1mm，长度大于500mm不锈钢管状器械吸湿材料（一次性防水织物、一次性手术服等）液体或粉末

不完全干燥的物品，一端闭塞的内腔

一般植入物