品牌:2008
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数字式气体质量流量控制器0-5sccm 数字式气体质量流量控制器0-5sccm 数字式气体质量流量控制器0-5sccm 重复度 ±0.2% FS
线性 ±0.5% F.S.
响应时间 ≤1sec
工作温度范围 (5~45)°C
耐压 3MPa
密封材料 氟橡胶Viton
输入输出信号 (0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus
电源 ±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC
阀类型 常开(流量量程≤30slm)或常闭