发送询价
一、韩国linetech气体质量流量控制器产品特点
- 测量质量流量
- 无需温度和压力补偿
- 结构紧凑
- 精度高
- 工作压力高
- 响应时间快
- 重复性高
二、韩国linetech气体质量流量控制器技术参数
|
型号 |
质量流量计 |
质量流量控制器 |
|
流量范围(N2) |
10SCCM~1000SLPM |
10SCCM ~ 300slpm |
|
响应时间 |
<2 sec |
<2 sec |
|
度 |
≤±1% FS |
≤±1% FS |
|
重复精度 |
±0.25% FS |
±0.25% FS |
|
输入/输出信号 |
0~5 Vdc OR 4~20 mA |
0~5 Vdc OR 4~20 mA |
|
供电电源 |
±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
|
耐压 |
<90bar |
0-30SLPM，<90bar;30-100SLPM,<70bar, 100-300SLPM,<15bar |
|
工作环境温度 |
0~50 °C |
0~50 °C |
|
漏率 |
1*10E-9 atm cc/sec |
1*10E-9 atm cc/sec |
|
使用范围 |
2 ~ |
2~ |
三、韩国linetech气体质量流量控制器接口尺寸