1、50毫秒内完成稳定的控制响应
、稳定的流量取决于控制响应速度，艾里卡特®质量流量控制器50毫秒内即可到达新的设定值。
2、操作便捷
? 50-100毫秒控制响应
? 允许用户自行调节PID以获得良好的速度和稳定性
? 定制化阀门孔径以保证满量程流量的稳定性
? 同一台设备控制质量流量、体积流量或压力
? 瞬间启动、无需预热：1秒内即可开始流量控制
二、ALICAT气体流量控制器产品系列
MC 标准系列
MCR 大流量系列
控制大流量(50-3000 slpm)气体。艾里卡特®R系列阀门为无摩擦阀门，可控制大流量的气体流量，特殊的孔状模式允许我们根据您的应用需求量身定制阀门。
MCW / MCRW 低压损系列
zui大限度减小压损对系统的影响，满量程压损zui低仅为4mbar(0.06 psid)；艾里卡特®Whisper低压损系列质量流量控制器可控制接近大气压的压力，
MCS / MCRS 耐腐蚀系列
所有量程均可采用适用于腐蚀性气体的316L不锈钢结构。
MCE / MCV 半导体行业专用系列
可快速、简易地替换老化陈旧的热式流量控制器，可任意定制引脚功能使之与您的控制系统兼容，封闭式阀门设计更是符合半导体行业标准。MCV系列另增加了后置的气动截至阀 ，专门用于真空应用。可定制相应的防腐蚀系列MCES / MCVS。zui大量程：0-20 slpm. 点击这里了解更多关于半导体行业专用系列
MCD / MCRD 双向质量流量&压力控制器系列
双向质量流量控制器，可正向或反向控制气体流量。可定制低压损系列MCDW系列及防腐蚀型MCDS系列。
三、ALICAT气体流量控制器性能参数
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指标 |
质量流量控制器 |
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量程 |
0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM |
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精度 |
±0.8%读数±0.2%满量程（可选：±0.4%读数±0.2%满量程） |
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重复性 |
±0.2% |
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量程比 |
200:1 |
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响应时间 |
100ms |
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标准状态(STP) |
25℃&14.696PSIA （101.325kPa） |
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温度范围 |
-10～50 |
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零点漂移 |
0.02％ |
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量程漂移 |
0.02％ |
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湿度范围 |
0- |
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测量流量范围 |
128％（过流率） |
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zui大耐压 |
145psi |
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输出信号（数字） |
质量流量、体积流量、压力和温度 |
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数字信号可选 |
RS485，Modbus，Profibus |
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输出信号（模拟） |
质量流量、体积流量、压力和温度 |
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模拟信号可选 |
0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA |
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电气连接 |
8针/9针/15针（根据不同类型流量计而定） |
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供电电压 |
7-30VDC（4-20mA输出时为：15-30VDC） |
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供电电流 |
0.03（4-20mA输出时为：0.05） |