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电容式传感器与电阻式、电感式等传感器相比有如下一些优点：
(1)高阻抗、小功率,因而所需的输入力很小，输人能量也很低。电容式传感器因带电板 间静电引力小(约几个10-5 N)，因此所需输入能量小，所以特别适宜用来解决输入能量低的 测量问题，例如测量低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏,分辨力非常髙，能 感受0.001μm甚至更小的位移。
(2)温度稳定性好。传感器的电容值一般与电材料无关，有利于选择温度系数低的材料， 又因本身发热小，对稳定性影响甚微。
(3)结构简单，适应性强，待测体是导体或半导体均可,可在恶劣环境中工作。电容式传感器结构简单，易于制造，可做得非常小巧，以实现某些特殊的测量;能工作在高低温、强辐射及强 磁场等恶劣的环境中，也能对带有磁性的工件进行测量。
(4)动态响应好。由于板间的静电引力很小，可动部分做得很小很薄，因此其固有频率很 高，动态响应时间短，能在几兆赫的频率下工作，特别适合动态测量，如测量振动、瞬时压力等。
(5)可以实现非接触测量，具有平均效应。例如非接触测量回转轴的振动或偏心、小型滚珠 轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时,电容式传感器具有平均效应，可以减小工作表面粗糙等对测量的影响。