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MXF20-100-M9NWLMXF20-100-M9NWL
- 工业PC 控制系统
- 工业总线标准系统(Profibus/EtherCAT)
- 标准化的数字驱动网 (SERCOS)（SErial Real-Time COmmunicationSystem）
- 基于视窗操作系统的人机界面HMI和开放式的系统结构
- 支持Internet/Intranet
- 可重复使用的模块化组件
- 组件库
- 基于IEC 61131-3 的PLC 编程环境
- 所有的系统能够控制与显示功能均可在一个PC控制器上实现， 提高了通讯效率
- 开放的系统结构， 便于第三方产品的嵌入与集成，INTERNET 通讯接口，远程诊断与服务的支持。
- 快速的扫描频率，可靠、简单、易于维护和查错的控制器。
基于研发的DHMI组台软件平台的人机交互系统
ASTeX 5kW 2.0 MHz Variable Source RF Generator MKS
Asyst PN: 9700-6209-01 Power Distribution Unit Kit, ASM PN: 91-125327A03
Asyst PN: 9700-6209-01 Power Distribution Unit Kit, ASM PN: 91-125327A04
ASM PN: 16-193823-99 Weldment-Launder Hybrid Non Passivated Passivate
AMAT 0010-18024 300mm Radiance Pyro Pyrometer RTP Probe
ASM PN: 03-142707-01 PCB Assy-Config Low/High Temp OM
Garrett/Kollsman TTU205/E Pressure Temperature Test Set
Sikama Falcon Five Hybrid Reflow Solder Furnace 3-Zone (5x3)
Thermo Precision Scientific 625 Convection Oven
Partner Pak Simpl-Seal 10" UV Curing Tunnel/Reactor
ASM Furnace/EPI? Load Lock Chambers A600/A400/A412?
Ebara ET800WS-A Vacuum Turbo Pump w/804W-A Controller
Neutronix-Quintel Q2001C Q-2001C 4" Wafer Mask Aligner
MKS/ENI OEM-12AM/12A RF Plasma Generator 13.56 MHz
Tencor Alpha-Step 100 Profilometer/Surface Profiler
IET Labs/General Radio 1413 Precision Decade Capacitor