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μsurf系列共聚焦显微镜采用多孔共聚焦技术，结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间(约几秒)内量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量，也可以用共聚焦显微镜测量的功能来观测样本，其在严酷的工作环境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他方法相比，可以更量测物体高度，建立3D立体影像，相当明显。 NanoFocus μsurf explorer共聚焦显微镜测量、表面分析系统机台功能齐全，结构紧凑，高，并拥有超高光学分辨率和广泛的三维表面形貌分析能力。
应用
μsurf系列激光共聚焦显微镜用来测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。
部件：检测对表面磨损，表面粗糙度，表面微结构有要求的零部件，比如发动机汽缸、刀口等;
生命科学：测量stents支架上镀层厚度等
微电子机械系统：微型器件的检测，医药工程中组织结构的检测，如基因芯片等
半导体：检测微型电子系统，封装及辅助产品结构设计
太阳能：电池片栅线的3D形貌表征、高宽比测量，制绒后3D形貌表征（单晶金字塔大小、数量、角度，多晶腐蚀坑形貌、密度），粗糙度分析等
纸张：纸张、钱币表面三维形貌测量
技术参数
LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
测量时间：5~10秒
测量原理：非接触、共聚焦
X/Y方向，平台移动范围：50mmX50mm，马达驱动，分辨率：0.3μm
Z方向测量范围：250μm，分辨率：2nm
物镜：10、20、50、100(可选)
计算机：高性能计算机控制系统，功能的软件，有拼接功能，
工作电源：100-240V, 50-60Hz, input<45W
材质：钢铁、橡胶、大理石
外型尺寸：710270330 mm (HxWxD)
重量：28KG
洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)
曼戈斐光学样品检测，提供详细检测报告
曼戈斐光学专业销售光学测量仪 ,可以检测粗糙度,几何形状,平整度,磨损度,
轴承比率等,提供灵活的共聚焦3D显微镜测量.
上海曼戈斐光学技术有限公司主营产品：激光共聚焦显微镜,共聚焦显微镜,高速摄像机,三维形貌轮廓仪,共聚焦显微镜,全自动影像仪,全自动晶元检测系统,太阳能表面检测系统,自动影像仪,共聚焦显微镜,光学测量仪,便携式共聚焦显微镜，白光共聚焦显微镜，激光共聚焦显微镜，3D共聚焦显微镜。
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