产品简介

KDY-4型四探针电阻率测试仪是严格按照硅片电阻率测量的标准（ASTM F84）及标准设计制造，并针对目前常用的四探针电阻率测试仪存在的问题加以改进。
整套仪器有如下特点：

1、配有双数字表：一块数字表在测量显示硅片电阻率的同时，另一块数字表适时监测全过程中的电流变化，使操作更简便，测量更。

数字电压表量程：0—199.9mV  灵敏度：100μV  输入阻抗：1000ΜΩ

                        基本误差±(0.4-0.5%读数+0.1%满度)

2、可测电阻率范围：10—3 —1×103Ω·cm。

     可测方块电阻范围：10—2 —1×104Ω/□。

3、设有电压表自动复零功能，当四探针头1、4探针间未有测量电流流过时，电压表指零，只有1、4探针接触到硅片，测量电流渡过单晶时，电压表才指示2、3探针间的电压（即电阻率）值，避免空间杂散电波对测量的干扰。

4、流经硅片的测量电流由高度稳定（万分之五精度）的特制恒流源提供，不受气候条件的影响，整机测量精度＜3%。

电流量程分四档：100μA、1mA、10mA、100mA。

5、仪器采用触点电阻更低（＜5mΩ）、使用寿命更长的转换开头及继电器（＞10万次），在缘电阻、电流容量方面留有更大的安全系数，提高了测试仪的可靠性和使用寿命。

6、四探针头采用上的红宝石轴套导向结构，使探针的游移率减小，测量重复性提高（知识产权局已于2005.02.02授予权，：ZL03274755.1）。