可进行、高水平分析，多功能3D粗糙度分析，微细轮廓测量。

●在X轴和Y轴上内置高清晰度的玻璃尺（X轴分辨率：0.05μm,Y轴分辨率：1μm）。

●配有“直线度补偿功能”，可确保X轴的线性精度；“圆度补偿功能”可保证测针的垂直移动；以及“针尖半径补偿功能”。

●配备易于操作的控制箱，可进行开始/停止测量、返回等操作。驱动部的上/下位置和X轴的移动等微调操作。