●可观察清晰无闪烁正像，且视场开阔。
●测量精度在同类设备中zui高（符合）JIS B 7153标准）。
●使用ML系列，专门为MF系列设计的高NA物镜（长工作距离型）。
●照明装置（反射/透射）可选用高亮度LED灯泡或卤素灯泡。
●利用可变孔径光阑（反射/透射）可进行无衍射观察测量。
●各类尺寸的标准工作台，zui大达到400×200mm。
●快速释放装置便于在测量工件大或测量工件数量多时快速移动工作台。
●粗调/细调进给手柄作为标准配置安装在立柱两侧，便于聚焦与观察测量，不受用左手或右手习惯的影响。
●高倍目镜观察，zui高达2000。
●标准测量显微镜，配有种类繁多的可选附件，包括Vision Unit影像装置与各种CCD数码相机。
规格
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X和Y轴（2轴型） |
型号 |
MF-A1010C |
MF-A2010C |
MF-A2017C |
MF-A3017C |
MF-A4020C |
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X、Y和Z轴（3轴型） |
型号 |
MF-B1010C |
MF-B2010C |
MF-B2017C |
MF-B3017C |
MF-B4020C |
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观察图像 |
BF（亮视场）/正像 |
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目镜（屈光度调节） |
10（视场数24），15X、20 注：单目筒镜：1个10目镜（标配），双目筒镜：2个10目镜（标配） |
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物镜 |
ML系列3X物镜（标配），1X,5X,10,20,50,100 |
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照明装置（二选一） |
LED照明装置 |
内置孔径光阑，白色LED光源，无亮度调节，冷却风扇 反射照明：科勒照明，可调孔径光阑，白色LED光源，无亮度调节 控制装置：电源ON/OFF开关（主开关）100－240V AC电源输入连接器 |
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卤素照明装置 |
透射照明：远心光学系统，内置孔径光阑，卤素灯泡（12V,50W），无亮度调节，冷却风扇 反射照明：科勒照明，可调孔径光阑，卤素灯泡（12V,50W）无亮度调节，冷却风扇 控制装置：电源ON/OFF开关（主开关），100－240V AC电源输入连接器 |
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XY轴测量范围 |
100×100mm |
200×100mm |
200×170mm |
300×170mm |
400×200mm |
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Z轴zui大工件高度 |
150mm |
220mm |
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测量精度*2（X和Y轴无负载） |
(2.2+0.02L)µm L：测量长度（mm） |
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数显计数器 分辨力 |
1 / 0.5 / 0.1µm可切换 |
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测量方法符合JIS B7153。