硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。 因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。

一、硅烷气体检测仪传感器选型

二、硅烷（SIH4)传感器技术参数：

    产品名称：硅烷 传感器  SIH4/C-50     产品主要参数：         测量范围：0～50ppm         zui大负载：ND         工作寿命：空气中2年         输出信号：1000±300nA/ppm                   分辨率：0.2 ppm         温度范围：-40°C to 45°C         压力范围:标准大气压± 10%         响应时间(T90)：﹤60sec         相对湿度范围：15%to90%         典型基线范围（纯净的空气， 20 ℃ ）：0 to -1ppm         zui大零点漂移（20°C to 40°C）：ND         长期输出漂移：﹤2% signal loss/months         推荐加载电阻：10 Ω         偏置电压：不需要

    产品名称：硅烷 传感器  SIH4/M-50     产品主要参数：         测量范围：0～50ppm         zui大负载：ND         工作寿命：空气中2年         输出信号：500±60nA/ppm                   分辨率：0.3 ppm         温度范围：-40°C to 50°C         压力范围:标准大气压± 10%         响应时间(T90)：﹤60sec         相对湿度范围：15%to90%         典型基线范围（纯净的空气， 20 ℃ ）：0 to -1ppm         zui大零点漂移（20°C to 40°C）：ND         长期输出漂移：﹤2% signal loss/months         推荐加载电阻：10 Ω         偏置电压：不需要

     产品名称：硅烷 传感器  SIH4/S-50 供应安徽地区硅烷SIH4传感器便携式泵吸式变送器集成     产品主要参数：         测量范围：0～50ppm         zui大负载：ND         工作寿命：空气中2年         输出信号：1000±300nA/ppm                   分辨率：0.2 ppm         温度范围：-40°C to 45°C         压力范围:标准大气压± 10%         响应时间(T90)：﹤60sec         相对湿度范围：15%to90%         典型基线范围（纯净的空气， 20 ℃ ）：0 to -1ppm         zui大零点漂移（20°C to 40°C）：ND         长期输出漂移：﹤2% signal loss/months         推荐加载电阻：10 Ω         偏置电压：不需要

 三．硅烷（SIH4）传感器结构

四．智能模块开发方案

模块特色： 供应安徽地区硅烷SIH4传感器便携式泵吸式变送器集成

 1. 选用的进口电化学传感器，使用寿命长；

2. 选用的运放和电源IC，性能稳定，灵敏可靠；

3、可以检测低浓度或高浓度的有毒气体；

4、产品设计抗干扰能力强、超量程保护、反性保护和防雷保护；

5、产品设计低功耗，网络RS485输出；

6、模块传感器的安装方式：泵吸式、扩散式、法兰式、法兰螺纹式；

主要参数指标：

检测原理：电化学原理

安装方式：扩散式、泵吸式、法兰式、螺纹式

响应时间：30 S～40 S（传感器的响应速度）

检测精度：≤±3%FS（实际浓度，更视具体传感器而定）

重 复 性：≤±2%

性线误差：≤±2%

零点漂移：≤±2%（F.S/年）

工作温度：－40～50℃

工作湿度：15-90%RH (无结露)

信号输出：数字TTL信号输出 、RS485输出、4-20mA输出

工作电压：DC 12-36 V

五．硅烷（SIH4）传感器应用

硅烷（SIH4）传感器广泛应用于微电子、光电子工业， 用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层， 并且是迄今上的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。          现在电子气体的使用越来越多，半导体的生产、LED的生产、晶体加工、加工等行业带来很多麻烦，这些毒气的检测都离不开SIH4.