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MODE LEX-250S流量控制器厂家直销日本kofloc武汉恒越峰机电设备有限公司总代理
：叶荷运
流量控制器
【原理】
コフロック的气体流量控制器/质量流量计（MFC / MFM）使用的流量传感器，热式流量传感器采用。加热
式流量传感器在传感器部分的的毛细管上兼作的抵抗身体的部位，向下游的2个地方各卷着。这个抵抗体电流流和
发热，煤气不流动的情况下2个抵抗身体同样的温度平衡。在这种状态下煤气的话上游和下游的温度平衡产生了温
度差。
这个温度的温差对煤气的质量流量有函数关系，在上游方面和下游方面的抵抗值的变化作为电信号提取放大
，补正质量流量仪（鳟鱼仪）。
并且气体流量控制器，传感器部被输出了流量信号从外部的流量设定信号的比较控
制高速，高分辨率的电磁阀（电磁阀）电磁阀的开度控制。热式传感器从测量质量流量的事到温度，压力的影响几乎没有受到稳定的测量控制。
MODE LEX-250S流量控制器厂家直销日本kofloc
制品型号
制品型号
小型デジタルマスフローコントローラ/メータ
MODEL EX-250S SERIES
オールメタルデジタルマスフローコントローラ/メータ
MODEL EX-550 SERIES
デジタルマスフローコントローラ
MODEL DF-200C SERIES
デジタルマスフローコントローラ
MODEL DF-250C SERIES
デジタルマスフローコントローラ
MODEL DF-300C SERIES
デジタルマスフローコントローラ
MODEL DF-350C SERIES
デジタルマスフローコントローラ
MODEL DF-550C SERIES
表示器付マスフローコントローラ/マスフローメータ
MODEL D8500 SERIES
表示器付マスフローコントローラ/マスフローメータ
MODEL8500 SERIES
スタンダード マスフローコントローラ
MODEL 3660 SERIES
ハイグレードマスフローコントローラ
MODEL 3200 SERIES
ローコストメタルシール マスフローコントローラ/メータ
MODEL 5400 SERIES
ハイグレードメタルシール マスフローコントローラ
MODEL 5100 SERIES
大流量用 マスフローコントローラ
HFC-303 SERIES
表示器付ローコストマスフローメータ
MODEL 3810DSⅡ SERIES
ハイグレード マスフローメータ
MODEL 3100 SERIES
スタンダート マスフローメータ
MODEL 3760 SERIES
大流量用 マスフローメータ
HFM-301 SERIES
低圧力損失大流量 マスフローメータ
MODEL HFM-200W/LS SERIES
ローコスト マスフローセンサー
MODEL 3810S SERIES
ローコストデジタルマスフローメータ
MODEL D3810 SERIES
デジタルフローインジケータDPM-3
MODEL DPM-3
瞬時、積算流量表示ユニット DPM-243/244
MODEL DPM-243
コンパクト リードアウトユニット
MODEL CR-400B
流量設定器
MODEL CK SERIES
マスフローメータ専用電源
MODEL PSK-2TFX
マスフローコントローラ/マスフローメータ用電源(機器組込用)
MODEL PSK-FB SERIES
小型ハンディ質量流量制御/測定ユニット
FLOW COMPO
標準仕様
| 形式 | マスフローコントローラ | マスフローメータ | |
| EX-250SC | EX-250SM | ||
| センサー方式 | 熱式巻線センサー | ||
| バルブ方式 | 比例ソレノイドバルブ （非通電時 閉） | - | |
| 対象ガス（*1） | N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2 等 | ||
| （記載の無いガスはN2 換算） | |||
| 流量レンジ（*2） | 10SCCM ～ 5SLM | ||
| 制御範囲（計測範囲） | 2 ～ (F.S.) | ||
| 応答性 | 全流量制御範囲 1sec 以内（within ± 2%F.S.）（*8） | ||
| 精度（*3） | ± 1.0%F.S. | ||
| 再現性 | ± 0.2%F.S. | ||
| 動作差圧（*4） | 50 ～ 300kPa（Ar、CO2：１00kPa ～ 300kPa） | - | |
| 入口zui大圧 | 500kPa（G） | ||
| 耐圧 | 980kPa（G） | ||
| 外部リークレート（He） | 1.0 × 10-8Pa・m3/sec 以下 | ||
| 温度 | 使用温度 | 5 ～ 50℃ | |
| 精度保証温度 | 15 ～ 35℃ | ||
| 許容保存温度 | -10 ～ 60℃ | ||
| 許容動作湿度 | 10 ～ 90%RH（結露なきこと） | ||
| 接ガス部材 | SUS316、SUS316L、磁性ステンレス（*5）、PTFE、FKM | ||
| 電気接続 | Dsub9 ピンKFC Standard（SEMI standard 準拠） | ||
| HR-10A | |||
| 流量設定入力信号 | 0 ～ 5VDC( 入力インピーダンス約1M Ω ) | - | |
| or 4 ～ 20mA( 入力インピーダンス約250 Ω ) | |||
| 流量出力信号 | 0 ～ 5VDC( 負荷抵抗10k Ω以上) | ||
| or 4 ～ 20mA( 負荷抵抗500 Ω以下) | |||
| デジタル通信 | RS485 ロータリースイッチによるアドレス設定 | ||
| 所要電源（DC） | +15VDC( ± 5%)100mA 以下、 -15VDC（± 5%）150mA 以下 | ||
| or +24VDC（± 10%） 180mA 以下 (MFM は全て100mA 以下となります) | |||
| 継手（*6） | 1/4F900（標準） | ||
| 取り付け姿勢 | 水平方向推奨 | ||
| 重量（*7） | 約500g | 約440g | |