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1. 纵向分辨率：0.1nm
2. 重复精度：0.54nm（1σ@1000nm ）
3. 接触力 ：0.01mg ~ 100mg
4. 纵向量程：500um or 1000um
5. 探针扫描范围：10um ~ 500um
6. 样品台扫面范围：500um~100mm
7. 采样速率：100Hz
8. 彩色CCD
9. 视场分辨率：512X512 像素
10. 视场放大： 4 级调节 480
11. 自动平台：150mm X 150mm 运动范围
12. 样品台：150mm 直径 ，200mm可选
13. 探针： 标注：2um 曲率半径，100nm接触面积； 0.05~25um曲率可选
14. 标准台阶高度样品，美国NIST标定： 500nm ；100um 两块NANOMAP 500LS探针式三维形貌仪
NANOMAP 500LS探针式三维形貌仪
NANOMAP 500LS探针式三维形貌仪