JKZC-ST4型半导体材料数字式四探针测试仪

关键词：电阻，电阻率，四探针，半导体

一、产品概述

    JKZC-ST4型半导体材料数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国 A.S.T.M 标准。

JKZC-ST4型半导体材料数字式四探针测试仪具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、测量简便、结构紧凑、使用方便等特点。

JKZC-ST4型半导体材料数字式四探针测试仪适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。

二、JKZC-ST4型半导体材料数字式四探针测试仪符合：

1、符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、

2、符合GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》

3、符合美国 A.S.T.M 标准

二、JKZC-ST4型半导体材料数字式四探针测试仪产品应用：

1、测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；

2、可测柔性材料导电薄膜电阻率/方阻

3、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）电阻率/方阻

4、纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻

5、电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量

6、可测试电池片等箔上涂层电阻率方阻

二、JKZC-ST4型半导体材料数字式四探针测试仪基本技术参数

1、  测量范围

     电  阻：1×10-4～2×105 Ω   ，分辨率：1×10-5～1×102 Ω

   电阻率：1×10-4～2×105 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×102 Ω-cm

   方  阻：5×10-4～2×105 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×102 Ω/□

   静压电系数：0-2000PC/N（另配）

2、测量方式：自动或手动

3、基本精度：±0.1/%

4、四探针探头：

   (1)碳化钨探针：Φ0.5mm，直线探针间距1.0mm，探针压力: 0～2kg 可调

   (2)薄膜方阻探针：Φ0.7mm，直线或方形探针间距2.0mm，探针压力: 0～0.6kg 可

5. 电源：198V －242V(AC），47.5Hz －63Hz

6、操作环境：  0°C －40°C ，≤90%RH

7、外形尺寸：200mm（长）×220 mm（宽）×100mm（高）

8、数据传输方式；USB

9、软件方式：人性化分析软件界面，数据自动生成

10、可以配合压电材料的静压电d33系数:0-2000PC/N

                      分析软件（一）