品牌:TK
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STD型
特点
l 一路进二路出的气流方向
l 充分利用空间
l zui小死区
l 释放出气
l 确保产生的微粒为zui小化
l zui小的湿气、氧气和氢气分流
l 激光打印标记；材质经过独立机构测试认证
l 在洁净室中进行电解抛光，D.I.水处理，装配，测试和包装。
技术指标
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尺 寸
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1/4"
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3/8"，1/2"
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CV 值
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0.3
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0.7
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孔 径
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4.5mm
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7.8mm
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zui大工作压力（G.）
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17kgf/cm2(1.66MPa)
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zui大工作温度
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PCTFE:-10℃-65℃/PFA:-10℃-120℃/PI:-10℃-150℃
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内泄漏标准（He）
测试压力≤1×10-2 Torr
测试时间≥30秒
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≤1×10-9 atm·cc/sec(1×10-10Pa·m3/s)
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外泄漏标准（He）
测试压力≤1×10-2 Torr
测试时间≥1分钟
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≤1×10-9 atm·cc/sec(1×10-10Pa·m3/s)
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微粒检测（只用于EP）
压力：60-80PSI N2气体
样品流量：1CFM 0.1μm以上
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无法计算
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选 型
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S
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4
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BDV
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VM
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IT25
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P
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S-4-BDV-VM–IT25-C-P
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阀体材质
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S
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S:SUS316单级；
D:SUS316双级;
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尺 寸
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4
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4：1/4″；
6：3/8″；
8：1/2″；
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产 品
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BDV
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BDV;
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连 接
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VM
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VM:公VCR；
VF:母VCR；
SW:卡套；
TW：对焊
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气流方向
见下图
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一路进二路出
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IT25
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1T25; 5T12; 1T23; 3T12
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级 别
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P
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AP：AP级；
空白：BA级；
P：EP级
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其他材质
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底座:PCTFE/PI/PFA; 隔膜:哈氏合金; 手柄:铝
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