品牌:KOFLOC
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型号3100系列质量流量计是一款以型号3200为基础，新推出的高精确性流量计。新颖的细长型流量控制器减少了压力的损失，保证了快速的响应性和稳定性。
特点
通过安装一个温度流量传感器得到高精确的快速回应。
通过CF转换功能能和多种气体兼容
测量一分钟流量可达1SCCM满量程
技术指标
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流量范围 N2换算
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3100：10SCCM-20SLM；3105：30SCCM-100SLM
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响应
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±2% 在1秒以内
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精度
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3100：±1.0%F.S.以内；3105：±1.5%F.S.以内
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线性
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±0.5%F.S.以内
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再现性
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±0.2%F.S.以内
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耐压
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980kPa
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操作差压
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F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa
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5＜F.S.≤20SLM 147kPa-294kPa
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泄漏范围
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1×10-8Pa·m3/s以内（He除外）
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使用温度
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0℃-50℃（精度保证：15-35℃）
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连接气体部分材料
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外壳：SUS316L、SUS316、PTFE
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封条：Viton(选项：氯丁橡胶）
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接头
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标准：1/4SWL
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选购项：1/8SWL、1/4VCE、Rc1/4
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电力连接
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Dusb 9-pin male connector per KFC standard
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输出信号
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0-5VDC
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需求电源供给
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+15VDC(±5%)100mA,-15VDC(±5%)200mA
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选型表
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订购范例
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3100
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1/4SWL
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N2
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100SCCM
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O
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3100-1/4SWL-N2-100SCCM-O
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型 号
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3100
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3100:标准
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3105：大容量
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连接方式
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1/4SWL
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标准：1/4SWL;
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可选：1/4VCR;1/8SWL;Rc1/4
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介质
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N2
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N2:以N2换算
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流量
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100SCCM
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10SCCM-20SLM
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选项
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O
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O:无选项
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选项名称：NR:氯丁(二烯)橡胶
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SR:1SCCM,5SCCM
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