可对样品进行单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的全自动测试；

   屏蔽测试，完全消除光线对样品测试的影响，保证测量的准确性；

   吸附测试，完全消除全自动测试过程中样品移动对测试的影响；

   全自动四探针测试系统可不连接电脑使用进行单点、中心五点、边缘五点测试并把测试结果同时显示于显示屏；

    运用四探针测量原理的多用途综合全自动测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。

   全自动四探针测试系统仪器由主机、测试台、四探针探头、真空泵、屏蔽罩、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制进行全自动测试，然后把测试数据采集到计算机中加以分析，以表格、图形方式统计分析显示测试结果。