Verifire™ MST 激光干涉仪提供了一个前所未有的崭新的测量方式和能力，传统的激光干涉仪应用是测量两个面的波前变化，也就是说测量一个 由两个面所形成的腔。

但是，如果所测量的是一个没有经过镀膜的平行平板，则就会产生两个叠加的干涉条纹（三个面的腔所形成），这样就会干扰标准的位相干涉测量分析。

现在，ZYGO的Verifire™ MST 激光干涉仪解决了这一个问题，通过波长调制技术和ZYGO新的傅立叶变换方法，可以进行三个甚至四个平行面的测量，不仅可以显示所有的面，并且可以排除其他的面而单独显示你所需要的面。

三平面干涉测量

Verifire™ MST 激光干涉仪可以在你的测量中，只要一次数据采集，就可以得到平行平板前表面和后表面的平面度，同时还能得到平行平板的光学厚度：

• 前表面形貌图

• 光学厚度变化

• 物理厚度变化和后表面形变

四表面干涉测量

这一技术能够通过两次数据采集得到下列结果：

• 前表面和后表面的形貌图

• 物理厚度变化

• 光学厚度变化

• 折射率变化
- 非线性材料均匀性
- 线性材料均匀性

多表面样品测量快速、简单和质量提升

同时测量表面形变和光学厚度变化

平行平板两侧测量就可以得到其均匀性：

• 不需要涂油就可以进行安全、快速测量

• 两次测量不需要进行调整

的线性材料均匀性测量

快速测量，只需要几分钟而不是几个小时