Verifire™ XL 激光干涉仪是一个的工作站，设计用于直径达12英寸（300毫米）的大型平面的简单可靠计量。示例包括前表面反射器，窗口和半导体晶片或晶片卡盘。

这种完全集成的系统易于使用，具有重型倾斜/倾斜平台，可提供可重复的零件放置，无需定制夹具。

Verifire™ XL 激光干涉仪外形紧凑，内置隔振，需要小的生产空间。

振动稳健

Verifire XL系统包括ZYGO的专利QPSI™采集技术，可在存在振动的情况下进行可靠的测量。QPSI可实现真正的轴上表面形状测量，而不会降低典型的生产振动。

准确的计量

Verifire XL系统中的高性能变速箱平面设计用于对重力下垂的小灵敏度，并包括一个全区域校准文件，以实现佳系统精度。
Mx™软件


ZYGO专有的Mx™测量和分析软件提供广泛的操作功能和数据可视化工具，可在易于使用的界面中实现的测量功能。

MX软件现在包括SmartAveraging ®技术，可帮助获得在短的时间量好的测量，以及内置的SPC提供了强大的能力进行生产的情况。

Verifire™ XL 激光干涉仪主要特点：


•12“（300 mm）光圈


•紧凑的占地面积，系统


•易于零件装载和对齐


•简单的设置和简化的操作

•内置预对准传输平面


•集成的隔振和QPSI™技术，可在生产环境中进行可靠的测量