大型无氧烤箱IC芯片电子件无氧烤箱参数

大型无氧烤箱材质：外箱采用优质不锈钢，内箱采用SUS304不锈钢

大型无氧烤箱风循环系统：热风循环系统：采用进口覆套式电热器（SHEATHED HEATER）无尘无氧化电热发生器

温度范围：RT+10-200℃

温度分辨率：0.1℃

温度波动度：＜±1℃

温度均匀度：≤±2%

洁净度：class 100，设备采用无尘材料，

适用100级光刻间净化环境

升温时间：5-8℃/min，（空箱测试）

降温时间：可满足130℃-50℃，降温5℃/min（空箱测试）

氧含量(配氧含量分析仪)高温状态氧含量：≤ 20ppm +气源氧含量：

箱体内装有氧含量分析仪，全称检测氧含量，并记录数据排气口采用自动风门设计以达到强烈的循环效果及快速降温，进气口加附N2流量计控制进气量，入气口10mm氧含量可达到40PPM以下