出水水质标准
根据实际需求

工艺流程
1、采用离子交换工艺，其流程如下：自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→增压泵→过滤器→阳树脂床→阴树脂床→双混床→超纯水箱→超纯水泵→微孔过滤器→用水点
2、采用两级反渗透+双混床工艺，其流程如下：自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→增压泵→过滤器→一级反渗透主机→双混床→超纯水箱→超纯水泵→微孔过滤器→用水点
3、采用反渗透加EDI工艺，其流程如下（新工艺高）：自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→增压泵→过滤器→一级或二级反渗透→中间水箱→EDI水泵→EDI系统→超纯水箱→超纯水泵→微孔过滤器→用水点

三种工艺比较
制备电子工业超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优缺点分别列于下面：
种采用传统的离子交换树脂其优点在于初次投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。
第二种采用反渗透+离子交换设备，其特点为初次投资比采用离子交换树脂方式要稍高，但离子再生周期相对要长，耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。是比较经济与流行的一种工艺。
第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子装置，这是目前制取超纯水，环保的的工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其缺点在于初次投资相对以上两种方式高。

注：化工用水纯度要求不高的仅仅采用反渗透工艺即可。

应用
化工行业用纯水。如电池行溶剂用水、化学分析、化工材料、产品清洗、物质的分离、浓缩、提纯，废物回收等场合等。