三丰三坐标0.7μm
三丰三坐标0.7μm
三丰三坐标0.7μm
新设计了机身，提高机身的刚性，同时改造了导轨机构，从而确保高速和的测量。

使用数字伺服系统，将所有位置、速度和电流的控制循环处理为数字信号。 

数字伺服系统具有以下优点 ： (1) 小的时间偏移或恶化 (2) 宽动态范围 (3) 轻易实现多种类型的控制运算

 通过提高结构刚性和结合全新开发的补偿技术已经实现了扫描测量。 

允许扫描探测误差： MPETHP = 1.3?m (574系列) 

允许扫描时间： MPTtHP = 40秒 (574系列) 

(目前FALCIO系列： MPETHP = 2.2?m) MPTtHP = 110秒) *

 测头使用：SP25M

实现允许长度测量误差 E0, MPE=0.7+2.5L/1000(?m)