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美国实验室光刻系统(Photo-Lithograghy)
品牌名称：Cygnus（小天鹅）
系统名称：π 2 -CYGNI
品牌口号：Smallest lab in the world
可提供项目：
• 系统销售
• 光刻服务
• 掩膜板销售
• 样机展示、培训
美国实验室光刻机简述：使用的172nm 的波长。不需要传统的光刻胶，对几乎任何的有机聚合物材料都可以光刻。不需要传统的涂胶、烘烤、曝光、显影、清洗等的流程和时间。高分辨率、高强度、率、低成本。在实验室就可以实现光刻，而无需到半导体工厂，使用大型和昂贵的刻蚀机。操作简单，几乎无需培训。
特点：
• 新一代真空紫外(VUV)光源波长：170nm
• 输出强度高: 7.2eV/光子
• 高光输出均匀性： 3%
• 灯寿命长: 曝光可达30,000次
• 不要超净间、无需复杂昂贵的光学平台
• 操作简单、快速
• 体机小巧
美国实验室光刻机目标实验室：大学、科研院所，进行芯片、传感器、电路研究的如下实验室
• 半导体材料和工艺研究
• 物理：微机电、纳米、存储、芯片研究、传感器
• 化学：材料研究，刻蚀、光刻、清洗
• 光电
• 材料科学
• 生物：微流控，生物芯片
• 医学：微流控，生物/医学芯片