TP-TPY-2 自动椭圆偏振测厚仪
2020-01-09 15:18  点击:422
价格:未填
品牌:663
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自动椭圆偏振测厚仪/椭圆偏振测厚仪/测厚仪 型号:TP-TPY-2

产品特点:
仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器,功率稳定波长度高。
仪器采用USB接口与电脑连接,配套软件功能齐,具有多样数据采集及处理方式,适用于不同用户的需要。
规格与主要指标:
测量范围:薄膜厚度范围1nm-4000nm 折射率范围:1-10
测量zui小示值:≤1nm 入射角:20°- 90°度≤0.05°
度盘刻度:每格1度 允许样品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm
偏振器步进角:0.014°/步 偏振器方位角范围:0°- 180°
测量膜厚和折射率重复性度分别为:0.5nm和0.005
仪器测量度:±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm时)
光学中心高度:80mm
成套性:主机、电控系统、USB接口、配套软件(需配计算机)
主机重量:26kg 外形尺寸:680*390*310mm

装箱单

序号

规格或型号

数量

备 注

1

自动椭圆偏振测厚仪主机

TP-TPY-2

1台

2

主机电控箱

TP-TPY-2

1台

3

Q9连接线

1根

4

数据连接线

1根

5

电源线

2根

6

15线连接电缆

1根

7

USB连接电缆

1根

8

二氧化硅膜样片

1张

软件安装盘

TP-TPY-2

1张

10

使用说明书

TP-TPY-2

1份

11

装箱单

TP-TPY-2

1份

12

产品合格证

TP-TPY-2

1份




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