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| 型 号 | MicroVu EXCEL 501HC | MicroVu EXCEL 4220 |
| X/Y/Z测量行程 | 400×500×160mm | 650×650×160mm |
| Z轴行程 | 160mm | 160mm |
| 承载重量 | 100KG | 100KG |
| 大理石工作台 | 铝 | 铝 |
| 立柱 | 铝 | 铝 |
| 仪器底座 | 铝 | 铝 |
| 传动型式 | P级导轨： X/Y/Z轴IKO线性导轨 | P级导轨： X/Y/Z轴IKO线性导轨 |
| T型丝杆 | T型丝杆 | |
| 轴承：日本NSK原装进口轴承 | 轴承：日本NSK原装进口轴承 | |
| 手持式移动摇杆操作，可切换快速移动 | 手持式移动摇杆操作，可切换快速移动 | |
| 光学尺 | 奥地利RSF 0.4um | 奥地利RSF 0.4um |
| X/Y轴精度 | 2.8um+L/200 | 2.8um+L/200 |
| Z轴精度 | 2.8um+L/100 | 2.8um+L/100 |
| 大XY轴加速度 | 700mm/S | 700mm/S |
| 大Z轴加速度 | 1400mm/S | 1400mm/S |
| 测量软件 | 美国MicroVu 原厂Inspec 软件 | 美国MicroVu 原厂Inspec 软件 |
| 镜头 | 美国 NAVITAR全自动变倍镜头，综合倍率20X-370X | 美国 NAVITAR全自动变倍镜头，综合倍率20X-370X |
| 仪器外形尺寸（L*W*H） | 1100×1200×1550mm | 1311×1604×1610mm |
| 仪器重量（KG） | 860KG | 1600KG |
| 电源 | AC220V/50HZ AC110V/60HZ | AC220V/50HZ AC110V/60HZ |