*1 以焦點位置為中心，低倍率端 ±5 mm，高倍率端側 ±0.5 mm 的範圍
*2 量測高度時的解析度
基恩士3D测量仪 3D轮廓仪
*3 使用 KEYENCE 規定的基準規，以 KEYENCE 規定的量測模式進行量測時的數值(環境溫度 23 ±1°C)
*4 需要影像連接模組(VR-H2J)
*5 WINOOWs7 Professio
基恩士3D测量仪 3D轮廓仪
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型號 |
VR-3200 |
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類型 |
量測頭 |
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適用控制器 |
VR-3000K |
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觀察量測範圍 |
大视野模式 |
15 型螢幕上顯示倍率 12x |
水平(H) |
24mm |
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垂直(V) |
18mm |
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15 型螢幕上顯示倍率 25x |
水平(H) |
12mm |
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垂直(V) |
9mm |
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15 型螢幕上顯示倍率 38x |
水平(H) |
8mm |
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垂直(V) |
6mm |
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15 型螢幕上顯示倍率 50x |
水平(H) |
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垂直(V) |
4.5mm |
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高倍率模式 |
15 型螢幕上顯示倍率 40x |
水平(H) |
7.6mm |
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垂直(V) |
5.7mm |
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15 型螢幕上顯示倍率 80x |
水平(H) |
3.8mm |
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垂直(V) |
2.9mm |
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15 型螢幕上顯示倍率 120x |
水平(H) |
2.5mm |
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垂直(V) |
1.9mm |
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15 型螢幕上顯示倍率 160x |
水平(H) |
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垂直(V) |
1.4mm |
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鏡頭 |
1 至 4 倍 |
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可量測高度 |
大視野模式：10mm(±5mm) 高倍率模式：1mm(±0.5mm)*1 |
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顯示解析度 |
0.1 µm*2 |
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重覆精度 (σ) |
高度量測 |
0.5 µm*3 |
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寬度量測 |
大視野模式：1 µm、高倍率模式：0.5 µm*3 |
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量測精度 |
高度量測 |
±3 •µm*3 |
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寬度量測 |
大視野模式：±5 µm、高倍率模式：±2 µm*3 |
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影像連接功能 |
全自動(XY 自動控制+ 自動對焦)量測*4 |
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載物台 |
XY 載物台移動量 |
184 × 88 mm(電動) |
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Z 載物台移動量 |
90 mm(電動) |
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旋轉角 |
±180°（試料旋轉載物台） |
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傾斜角 |
±30° 以上 |
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動作距離 |
75 mm |
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影像擷取元件 |
1 型400 萬畫素黑白CMOS |
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投光鏡頭 |
雙重遠心鏡頭 ×2 |
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受光鏡頭 |
雙重遠心鏡頭 |
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照明系統 |
觀察用光源 |
環形 LED 照明(紅、綠、藍) |
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量測用光源 |
白光 LED |
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影像尺寸 |
1024×768 畫素、2048×1536 畫素 |
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資料處理部份 |
KEYENCE 專用PC(OS 為 WINOOWs7)*5 |
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額定 |
電源電壓 |
100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz |
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耗電量 |
150 VA |
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環境抗耐性 |
環境溫度 |
+15 至 +30 °C |
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相對濕度 |
35 至 80 % RH (無凝結) |
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重量 |
28.0 kg |
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