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原子力显微镜
Nators自主开发SEM兼容的原子力显微镜系统可提供在SEM或FIB内进行原位三维形貌扫描和纳米压痕功能。该系统可兼容大部分SEM或FIB系统，包括桌面型SEM。
原子力显微镜产品特点：
· 纳米级三维形貌扫描成像分辨率
· 亚纳牛力纳米压痕分辨率
· 结构紧凑、优异的SEM/FIB兼容性
· 可根据用户具体需求提供定制化解决方案
原子力显微镜产品应用：
· AFM-SEM综合成像分析（结合AFM功能与SEM分析技术，例如EDX、EBSD）
· 纳米材料力学分析
规格参数
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概述 |
技术参数 |
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样品运动行程 |
10 mm |
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样品定位分辨率 |
100 nm |
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扫描行程 |
5 um |
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扫描器运动分辨率 |
0.1 nm |
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力感应范围 |
+/- 100 uN |
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力感应分辨率 |
0.5 nN |