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纳米操作机

纳米操作机是一种可以在微纳米尺度下与样品或操作对象进行物理交互（如测量、移载、搬运等），并且可以在各种显微镜（光学显微镜、SEM、FIB）内进行各种物理量测量（如电学、力学、光学等）的精密仪器。该系统全部由Nators公司自主开发的模块化部件组成，可根据用户需求提供定制化解决方案。

 

产品特点：

· 闭环运动控制，具有数十毫米运动行程和纳米级运动分辨率

· 低漂移，高重复定位精度

· 结构紧凑、体积小，适配市面上大部分显微镜平台

· 模块化设计，可根据用户需求提供定制化服务

产品应用：

· 微纳操作与微装配

· 半导体纳米芯片电学探测

· 材料纳米力学测量（纳米压痕、弯曲、拉伸测试）

· 光电材料等原位光诱导或原位性能测量

· MEMS器件测试

规格参数

概述	技术参数
纳米操作手数量	多达8个+样品台
每个操作手自由度	XYZ三轴
操作手运动行程（XYZ）	20 mm
开环运动分辨率	1 nm
闭环运动分辨率	5 nm
选配模块:	力传感器、旋转定位台

纳米操作机