GDWT-480型全自动型高低温真空探针台
关键词：高低温探针台，半导体，光电，吉时利
GDWT-480型全自动型高低温真空探针台主要应用于I-V/C-V，PIV测试,传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电子样品测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本，可以配合Keithley,Tektronix等国内外各种源表对材料进行测试，可以做材料的介电，铁电等测试,是目前高等院校和研究所及材料生产单位的重要辅助设备。
GDWT-480型自动型真空高低温探针台该探针台尺寸高达59x59MM，不锈钢台面设计，可以达到高温350℃。在真空方面采用真空腔体设计，具备进气口和抽真空接口，三轴移动探针臂保证X/Y/Z三个方向均可在真空环境下精密移位调节，用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测.
主要特点：
1、温度可以从-190℃-350℃
2、探针不需要打算开观察窗口，可以通过X/Y/Z三轴移动调节探针，
3、可以配真空，气氛等多种功能。
4、三轴调节范围：其中X方向0－28mm；y方向调节范围：0－18mm；z方向调节范围：0－18mm；
主要技术参数：
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真空腔体 |
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整内腔体尺寸 |
φ160 |
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观察窗尺寸 |
Φ70mm |
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样品台尺寸 |
Φ60mm |
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观察窗热台间距 |
74mm |
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加热台温度 |
-190-350℃ |
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加热台温控精度 |
±1℃ |
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真空度 |
机械泵≤10Pa 分子泵≤10-5Pa |
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电信号接头 |
SMA转BNC X 4 |
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电学性能 |
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V |
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探针数量 |
4探针 |
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探针材质 |
钨针 |
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探针尖 |
10μm（其他多种可选）0.5微米/1微米/2微米/5微米//20微米 |
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制冷 |
液氮/液氦/制冷机 |
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探针移动平台 |
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X-Y-Z移动行程 |
30mm*25mm *25mm |
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结构 |
真空波纹管结构，精密三轴控制探针 |
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精度 |
≤0.01mm |
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漏电精度 |
10pA,100fA,10fA |
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接头类型 |
BNC/三轴/鳄鱼夹/香蕉头/接线端子 |
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频率支持 |
DC-67GHZ |
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针尖直径 |
0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
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电子显微镜 |
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显微镜类别 |
物镜(可以选配） |
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物镜倍数 |
0.6-5.0倍(可以根据客户要求进行选配） |
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工作间距 |
85mm |
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相机 |
sony 高清 |
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像素 |
200万/500万/1200万 |
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图像接口 |
VGA |
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LED可调光源 |
有 |
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显示屏 |
9寸 |
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放大倍数 |
19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
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可选附件 |
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光学平台 |
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屏蔽箱 |
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光电测试配件 |
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高压测试配件 |
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激光系统 |
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气敏测试系统 |
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