Aerotech气浮平台ABL2000
2022-04-22 21:45  点击:209
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Aerotech气浮平台ABL2000
1专为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计
2运动超平滑,速度稳定性突出
3直线编码器或激光干涉仪反馈
4行程达1.2米
5全预加负载气浮导轨(空气轴承)
6全部非接触设计
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.25um
平面度±0.25um 
Aerotech气浮平台ABL2000
ABL20010 ABL20020 ABL20030 ABL20040  ABL20050 ABL20075 ABL20100 ABL20120

全预紧式空气轴承
超平滑运动设计获得显著的速度稳定性
行程达1.2米
直线编码器反馈或激光干涉仪反馈
标准产品性能:
Aerotech气浮平台ABL2000
行程 ≤1200 mm
定位精度 ±0.50 μm
重复定位精度 ±.20 μm
直线度 ±0.25 μm
平面度 ±0.25 μm
 
z图片/Product_439.jpg ABL2000 平台性能指标
◆ 全预装空气轴承
◆ 行程1.2米
◆ 线性编码器或激光干涉仪反馈
◆ 完整的非接触式设计
◆ 超平滑设计,速度
稳定性极佳

 
ABL2000 空气轴承载物台
ABL2000 将出色的沥青/偏航特性与无与伦比的速度控制相结合,这是打印、成像、半导体和光子应用所必需的。

空气轴承设计
通过利用磁性预载荷,ABL2000 具有比典型空气轴承级更小的横截面,而不会牺牲负载能力。大型空气轴承表面提供出色的刚度,允许重载荷。专有的制造技术使载物台具有无与伦比的俯仰、滚动和偏航特性。ABL2000 在 Aerotech 最先进的生产设施中制造,其加工具有传统方法无法实现的严格公差


直线电机驱动
这一阶段背后的驱动力是Aerotech的BLMC无刷线性伺服电机。Aerotech作为电机制造商的悠久历史和经验反映在这一最新设计中。BLMC采用无铁芯推力器,这意味着零齿槽,没有吸引力 - 从而实现无与伦比的运动平滑度。由于载物台无摩擦且电机齿槽为零,因此可以实现极精细的分辨率。

零维护
我们的完全非接触式空气轴承、非接触式直线电机驱动和非接触式反馈装置可确保在 Aerotech 设备预期的高性能水平下实现多年的免维护运行。由于移动元件之间没有机械接触,因此 ABL2000 不会随时间推移而磨损或性能下降。使用寿命几乎是无限的,并且由于没有润滑 - 只有清洁,干燥的气体 - 空气轴承是洁净室和医疗应用的理想选择。

电缆管理
多年的研究造就了业界公认的最佳电缆管理系统(CMS)。我们仔细优化电缆弯曲半径,只使用最高质量的电缆,以确保多年的无故障运行。在不太可能发生故障的情况下,Aerotech的模块化设计使电缆更换变得快速而简单,停机时间最短。为了便于集成到最终系统中,我们在CMS捆绑包中包括所有客户所需的电缆,空气软管等。两端完全连接,可轻松集成到客户的机器中。还提供高柔性带状电缆版本。

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